DUPRA是大金工業(yè)開發(fā)的全氟Oring。

大金工業(yè)由原料生產(chǎn)，成型加工到包裝為一貫生產(chǎn)，使用大金特有的技術(shù)進(jìn)行 商品設(shè)計(jì)。更可依客戶需求進(jìn)行開發(fā)設(shè)計(jì)。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的環(huán)境今后是更加嚴(yán)荷。 DUPRA亦朝向以更能延長lifetime為主進(jìn)行開發(fā)。

DUPRA的種類與物理特性

在半導(dǎo)體用途都會提高密封材料的使用溫度，大金工業(yè)為了能夠讓客戶安心使用， 開發(fā)了DUPRA系列。 尤其在擴(kuò)散制程，密封材要求能在相當(dāng)耐熱的嚴(yán)格環(huán)境下被使用。 DU353（E）是加強(qiáng)了低黏著性亦兼具DU3R1（E）抗plasma性的材質(zhì)。 與其它全氟Oring的耐熱比較結(jié)果如下所示

在半導(dǎo)體用途的高溫領(lǐng)域使用狀態(tài)下，密封材與其接觸面會黏著的問題是近來被廣為討論的。 一般在高溫領(lǐng)域使用后的密封材會變得黏所以PM時會較花時間。 DU300系列針對黏著的問題以低黏著處理來對應(yīng)（E grade）與目前全氟Oring比較，成功的改善了黏著的問題。

因?yàn)樵诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)使用非常嚴(yán)格的plasma環(huán)境，密封材料的lifetime也受到很大的影響。DUPRA具有相等廣范的抗plasma性，在使用下列plasma環(huán)境下能發(fā)揮良好的性能。 在DUPRA的性能取決於polymer與架橋構(gòu)造和filler的選定配合。 在半導(dǎo)體工廠，plasma環(huán)境更加嚴(yán)格情況下，更期待密封才能具有較長的lifetime。

在半導(dǎo)體工廠，plasma環(huán)境更加嚴(yán)格情況下，更期待密封具有較長的lifetime。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對清潔性相當(dāng)?shù)囊?，大金工業(yè)從一開始開發(fā)就很專注於清潔性。所有產(chǎn)品都必需

維持很高度的清潔性，與其它全氟Oring相比有較高的清潔性以貢獻(xiàn)於半導(dǎo)體微細(xì)化加工的品質(zhì)。

DUPRA全部在無塵室進(jìn)行包裝作業(yè)。